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平面磨床用途光學(xué)玻璃是用于制造光學(xué)儀器或機(jī)械系統(tǒng)中光學(xué)元件(透鏡、棱鏡和反射鏡等)的玻璃材料的統(tǒng)稱。由于光學(xué)玻璃具有穩(wěn)定的物理化學(xué)性能和高度的光學(xué)均勻性,且耐磨性好、抗蝕性強(qiáng),因此被廣泛應(yīng)用于激光技術(shù)、光電通訊、航空航天以及國(guó)防工業(yè)等領(lǐng)域,已成為當(dāng)前科學(xué)技術(shù)中應(yīng)用最活躍的材料之一。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)對(duì)光學(xué)玻璃提出了精度高、需求量大等苛刻要求。從精度方面,要求光學(xué)玻璃具有面形精度高(Ra≤0.1 μm)、表面粗糙度低(Ra≤12 nm)以及亞表面裂紋少等;從需求量方面,以激光核聚變裝置 所 需的光學(xué)玻璃為例,美國(guó)國(guó)家點(diǎn)火裝置(National Ignition Facility, NIF)的光學(xué)系統(tǒng)使用7000多件大口徑光學(xué)元件(口徑大于400mm×400mm)。
由于光學(xué)玻璃具有硬度高、脆性大的特點(diǎn),在加工過(guò)程中極易產(chǎn)生表面疵病與亞表面損傷,屬于典型的難加工材料。其超光滑表面成形技術(shù)及高效低成本加工工藝技術(shù)已經(jīng)成為國(guó)防科技、航空航天、電子信息等領(lǐng)域急需研究的重要課題。對(duì)于光學(xué)玻璃等硬脆材料,超精密磨削技術(shù)是實(shí)現(xiàn)超光滑表面的最佳手段。因此,美國(guó)、德國(guó)、日本、英國(guó)等工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家,對(duì)光學(xué)玻璃等硬脆材料的超精密磨削加工技術(shù)的研究十分活躍,已開(kāi)發(fā)出的高精度高剛度磨床,用于硬脆材料的超精密加工技術(shù)的研究,并且相關(guān)科研成果被應(yīng)用于國(guó)防及民用工業(yè)領(lǐng)域。近年來(lái),光學(xué)玻璃等硬脆材料超精密磨削裝備及工藝技術(shù)研究已被列為重點(diǎn)資助的科研內(nèi)容。
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